一种平面结构三自由度微纳定位平台及使用方法

摘要

本发明公开了一种平面结构三自由度微纳定位平台及使用方法，解决了现有技术中存在整个定位平台结构不够紧凑、占用空间大的问题，具有增加平台紧凑性的有益效果，具体方案如下：一种平面结构三自由度微纳定位平台，包括底板；XY向上层定位机构，XY向上层定位机构包括安装于底板的基体，基体设置设于Y向的Y向放大机构和设于X向的X向放大机构，Y向放大机构和X向放大机构的输出末端及二者的对立侧分别设有第一级导向机构，多组第一级导向机构设于腔室顶部边缘，腔室内支撑多组第二级导向机构，多组第二级导向机构交叉设置；Z向下层定位机构，安装于底板，且Z向下层定位机构嵌套安装在XY向上层定位机构内。