空间三自由度微定位平台设计及优化

摘要

耦合位移直接影响微定位平台输出精度.控制空间微定位平台耦合位移可以有效提高平台的输出精度.通过控制误差补偿的方式消除微定位平台耦合位移,平台的驱动方式采用压电驱动.基于卡氏定理计算出微定位平台输出端输出位移;利用ANSYS软件对微定位平台的柔性铰链进行尺寸优化,并对优化后的微定位平台进行仿真分析.最后,对理论计算数值和仿真分析数值进行对比.通过对微定位平台的研究,得出所设计平台具有高定位精度,低耦合位移,大行程的优势,为同类微定位平台的研究提高借鉴.