公开/公告号CN111730431B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-10-15
原文格式PDF
申请/专利权人 清华大学;华海清科股份有限公司;
申请/专利号CN202010749664.3
申请日2020-07-30
分类号B24B7/06(20060101);B24B7/22(20060101);B24B27/00(20060101);B24B41/06(20120101);B24B47/12(20060101);B24B47/22(20060101);B24B49/00(20120101);B24B51/00(20060101);
代理机构
代理人
地址 100084 北京市海淀区清华园1号
入库时间 2022-08-23 12:36:57
机译: 粘合晶圆外圆磨削的粘合晶圆制造方法和装置
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