法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2015-12-16
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):H01L 21/66 授权公告日:20090311 终止日期:20141023 申请日:20021023
专利权的终止
2009-03-11
授权
授权
2005-08-24
实质审查的生效
实质审查的生效
2005-06-29
公开
公开
机译: 用于实现原位干涉测量终点检测和非干涉测量终点监测的氮化物间隔物蚀刻工艺的方法和装置
机译: 用于实现原位干涉测量终点检测和非干涉测量终点监测的氮化物间隔物蚀刻工艺的方法和装置
机译: 用于实现原位干涉测量终点检测和非干涉测量终点监测的氮化物间隔物蚀刻工艺的方法和装置