用于多光束粒子检测器的位置反馈

摘要

本发明涉及一种多光束计量系统，其包含：照明源，其经配置以产生光束阵列；照明子系统，其将所述光束阵列引导到样本的测量位置阵列处；成像子系统，其使所述测量位置阵列成像为检测平面中的成像光点阵列；及检测组合件，其产生与所述成像光点中的每一者相关联的检测信号通道。所述检测组合件包含：检测元件阵列，其经配置以用单独检测元件接收所述成像光点；及一或多个位置检测器，其测量所述成像光点在所述检测平面中的位置。所述检测组合件进一步基于所述成像光点的所述测量位置来产生所述成像子系统的反馈信号以调整所述成像光点中的一或多者在所述检测平面中的所述位置以维持所述检测元件阵列对准。