公开/公告号CN109073992B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-09-28
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML荷兰有限公司;
申请/专利号CN201780025162.2
申请日2017-03-28
分类号G03F7/20(20060101);
代理机构11256 北京市金杜律师事务所;
代理人王茂华;吕世磊
地址 荷兰维德霍温
入库时间 2022-08-23 12:33:33
机译: 确定堆叠差异并使用堆叠差异进行校正
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