公开/公告号CN109073992A
专利类型发明专利
公开/公告日2018-12-21
原文格式PDF
申请/专利权人 ASML荷兰有限公司;
申请/专利号CN201780025162.2
申请日2017-03-28
分类号G03F7/20(20060101);
代理机构11256 北京市金杜律师事务所;
代理人王茂华;吕世磊
地址 荷兰维德霍温
入库时间 2023-06-19 07:54:06
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2019-01-15
实质审查的生效 IPC(主分类):G03F7/20 申请日:20170328
实质审查的生效
2018-12-21
公开
公开
机译: 确定堆叠差异并使用堆叠差异进行校正
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