一种基于亚波长结构的片上太赫兹单向传输器制备方法

摘要

本发明公开了一种基于亚波长结构的片上太赫兹单向传输器制备方法，其目的在于减少反射光返回集成激光器中对激光器造成的严重损坏，尤其是在较高的光功率下产生的影响；并解决了在光路中由于其他器件的反射造成光路信号干扰等问题。采用的方案是：在亚波长矩形波导特定的位置镀上结构渐变的天线阵列超表面。超表面与波导模式发生强相互作用并为波导模式提供额外的单向动量补偿，从而实现了波导模式转化和能量的单向传输。本发明具有装置简单，易于操控，体积尺寸小，正向‑反向透射比值高等特点，利于太赫兹集成光学的发展和应用。