具有扇出中介层的绝热耦合光子系统

摘要

光子系统可以包括PIC和中介层。PIC可以包括第一SiN波导。中介层可以包括第二SiN波导和第三SiN波导，第二SiN波导和第三SiN波导在第一波导堆叠的交叠区域中与第一SiN波导基本上竖直对准，该交叠区域可以包括第一波导堆叠中的该第一波导、该第二波导以及该第三波导。在交叠区域内，第二SiN波导可以包括竖直锥形部，竖直锥形部朝向第一SiN波导将第二SiN波导的厚度从初始厚度增加至增加的厚度。第一波导堆叠还可以包括非交叠区域，在该非交叠区域中，中介层不与PIC交叠。非交叠区域可以包括第二SiN波导和第三SiN波导。在非交叠区域内，第二SiN波导可以保持增加的厚度，并且第二SiN波导和第三SiN波导可以包括第一横向弯曲部。