极紫外光设备及防止极紫外光光源装置被污染的方法

摘要

本公开涉及极紫外光设备及防止极紫外光光源装置被污染的方法。一种极紫外光微影系统，包括极紫外光光源及极紫外光扫描器。微滴产生器在极紫外光光源中提供微滴流。气体屏障是配置以包围微滴流。当激光与流中的微滴反应时，制造极紫外光辐射及离子化粒子。气体屏障可减少传送离子化粒子至微滴捕捉器的污染。极紫外光光源的构件可用电压偏压，以排斥或吸引离子化粒子，进而减少来自于这些离子化粒子的污染。