具有辅助电极层的硅电极及其制备方法、应用和专用夹具

摘要

本发明公开了一种具有辅助电极层的硅电极及其制备方法、应用和专用夹具。所述硅电极包括重掺杂硅基体、隔离层、辅助电极层、绝缘层和导电端；主电极表面设置有厚度为亚微米尺度的辅助电极，二者独立供电，分时、切换参与电解加工。其专用夹具使硅电极高速旋转，形成主电极为等效圆形、辅助电极为等效环形的电极截面结构，并且实现主、辅电极的独立、稳定导电功能；最终形成主电极粗加工、辅助电极精修的微细电解加工工艺应用，进而减小了微结构的侧壁锥度和圆弧过渡区，提高了其形状精度。