公开/公告号CN100472220C
专利类型发明授权
公开/公告日2009-03-25
原文格式PDF
申请/专利权人 日商·日本工程技术股份有限公司;株式会社爱德万测试;
申请/专利号CN03826028.X
申请日2003-01-31
分类号G01R31/26(20060101);H01L21/60(20060101);
代理机构中国国际贸易促进委员会专利商标事务所;
代理人吴丽丽
地址 日本神奈川县
入库时间 2022-08-23 09:01:59
法律状态公告日
法律状态信息
法律状态
2012-04-11
未缴年费专利权终止 IPC(主分类):G01R 31/01 授权公告日:20090325 终止日期:20110131 申请日:20030131
专利权的终止
2009-03-25
授权
授权
2006-05-03
实质审查的生效
实质审查的生效
2006-03-08
公开
公开
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