退出
我的积分:
中文文献批量获取
外文文献批量获取
公开/公告号CN109338317B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-08-27
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201811141373.5
发明设计人 马丁·李·莱克;基思·A·米勒;
申请日2013-08-20
分类号C23C14/35(20060101);H01J37/34(20060101);
代理机构11006 北京律诚同业知识产权代理有限公司;
代理人徐金国;赵静
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 12:23:05
机译: 物理气相沉积(PVD)处理系统的目标冷却
机译:在32 nm NMOSFET中用于LaO_x盖层沉积的射频物理气相沉积靶材的比较
机译:用于实现高耐久性模具的电离物理气相沉积(I-PVD)方法的新发展
机译:审查用于中高温太阳能热应用的物理气相沉积(PVD)光谱选择性涂层
机译:通过物理气相沉积(PVD)应用于固体氧化物燃料电池的电极和电解质层
机译:通过反应电子束物理气相沉积(EB-PVD)沉积的微米厚氧化ado膜的工艺-结构-性能关系
机译:热塑性聚氨酯聚合物上无机物理气相沉积(PVD)涂层的血液相容性
机译:用于物理气相沉积(pVD)的固体氧化物燃料电池的电极和电解质层
机译:用于保护涂层的陶瓷的等离子喷涂 - 物理气相沉积(ps-pVD)