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机译:在32 nm NMOSFET中用于LaO_x盖层沉积的射频物理气相沉积靶材的比较
STMicroelectronics, 850 rue Jean Monnet, 38926 Crolles cedex, France,CEA-LETl, 17 rue des Martyrs, 38054 Grenoble, France;
STMicroelectronics, 850 rue Jean Monnet, 38926 Crolles cedex, France;
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CEA-LETl, 17 rue des Martyrs, 38054 Grenoble, France;
IMEP-LAHC, Minatec-INPC, BP b57, 38016 Grenoble, France;
rf-pvd; capping layer; lanthanum oxide; nmosfet;
机译:通过等离子增强化学气相沉积-涂有AlxOy或SiOCH包封层的Ag-SiOCH复合材料的物理气相沉积,对用于食品加工行业的纺织品进行抗菌整理
机译:原子层沉积沉积的TaN势垒的连续性和形貌以及与物理气相沉积的比较
机译:等离子体喷涂-物理气相沉积中气相涂料的传输和沉积行为
机译:SYNCHROTRON X射线衍射对电子束物理气相沉积和等离子喷涂物理气相沉积热障涂层性能的比较
机译:通过原子层沉积和物理气相沉积在燃料电池应用中生长的Pt在TiO2上的强金属支撑相互作用。
机译:射频等离子体增强化学气相沉积(RF PECVD)反应器中样品高度对氮化硅薄膜光学性能和沉积速率的影响
机译:等离子体辅助蒸汽物理沉积技术的生产和表征=通过等离子体辅助物理气相沉积技术生长的W / WC双层的生产和表征