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王奔;
长春理工大学;
物理; 气相沉积系统; 膜厚分布; 模拟;
机译:物理气相沉积膜厚均匀性的仿真与优化
机译:硼掺杂硅膜的沉积模型及孔中膜厚分布的模拟
机译:厚SiC膜的超快热等离子体物理气相沉积
机译:DC PJ CVD系统中基底表面温度场上厚金刚石膜的附着力模拟和实验
机译:通过反应电子束物理气相沉积(EB-PVD)沉积的微米厚氧化ado膜的工艺-结构-性能关系
机译:确定拉伸强度的延展性基体上厚脆性涂层/膜中平面应力分布的有限元建模
机译:OLEaCEaE中膜孔膜增厚的微观形态学和系统分布:TORI和psEUDO-TORI
机译:反应电子束 - 物理气相沉积(EB-pVD)沉积的微米厚氧化钆薄膜的工艺 - 结构 - 性质关系。
机译:膜厚分布预测方法,膜厚分布预测设备,膜厚确定方法以及膜厚确定和预测设备
机译:膜厚分布测定方法,膜厚分布测定装置及膜厚分布测定程序
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