物理气相沉积系统和用于调节该物理气相沉积系统中的坩埚与衬底之间的距离的方法

摘要

一种新的物理气相沉积系统(1)，包括坩埚(10)，用于容纳原料(102)；衬底保持器(20)，用于保持衬底(4)；和移动装置(6a,6b)，用于移动坩埚(10)或衬底保持器(20)。本发明还提供一种用于调节物理气相沉积系统(1)中坩埚(10)和衬底(4)之间的距离的方法。