公开/公告号CN108018539B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-08-24
原文格式PDF
申请/专利权人 ASM IP控股有限公司;
申请/专利号CN201711057929.8
申请日2017-11-01
分类号C23C16/455(20060101);C23C16/52(20060101);C23C16/513(20060101);
代理机构31100 上海专利商标事务所有限公司;
代理人江磊;沙永生
地址 荷兰阿尔梅勒
入库时间 2022-08-23 12:22:14
机译: -使用窄间隙电容耦合电极的低于大气压等离子体增强ALD的ALD方法
机译: 使用窄间隙电容耦合电极的低于大气压等离子体增强的ALD方法
机译: 带有间隙的电容耦合电极的超大气等离子体增强ALD方法