CCP Atmospheric-pressure plasma CVD TLM Voltage distribution;
机译:大面积电容耦合等离子体中电极电压分布的时间演化
机译:通过在电容耦合等离子体中定制电压波形来控制晶片的电子速度分布,以补偿高纵横比蚀刻特征的表面充电
机译:电极间距对SiH_4 / NH_3 / N_2 / He电容耦合等离子体中电子,离子以及亚稳和自由基分子的密度分布的影响
机译:电容耦合等离子体中光学计算机断层扫描的研制,等离子体蚀刻电感耦合等离子体
机译:利用电容驱动射频等离子体电压波形剪裁的带电粒子动力学和电子功率吸收动力学的控制
机译:大气压等离子体射流通过自由基的产生诱导涉及线粒体的细胞凋亡。
机译:电容耦合等离子体电极上的电压分布,用于产生大气压等离子体