一种缺陷检测系统、检测方法及电子束扫描机台

摘要

本发明提供了一种缺陷检测系统、检测方法及电子束扫描机台，该缺陷检测系统包括光源部件；检测部件，包括光斑选择板，光斑选择板上设有通孔，通孔的宽度沿第一方向逐渐递增或逐渐递减，光斑选择板能够沿第一方向移动，光线与第一方向垂直且光线的至少一部分能够穿过通孔；驱动部件，用于驱动检测部件沿第二方向移动，第二方向与第一方向垂直；接收部件，用于接收穿过通孔的光线并将接收的光线转化为光斑数字图像；以及处理器，用于接收光斑数字图像，并根据光斑数字图像确定与光斑数字图像对应的高度尺寸。本发明提供的缺陷检测系统结构简单、操作方便，利用不同的光斑数字图像对应不同的高度尺寸，快速实现对样品表面缺陷的高度或深度的检测。