一种避免电子束扫描过程中产生电弧放电的缺陷检测方法

摘要

本发明公开了一种避免电子束扫描过程中产生电弧放电的缺陷检测方法，包括：提供经连接孔刻蚀后的晶圆，将所述晶圆传送到电子束扫描仪的扫描腔体中，并进行对准；通过测试确定使晶圆表面保持稳定电势时的缺陷扫描条件；对晶圆表面进行预扫描，并施加形成稳定电势，以提升晶圆表面的电势，降低晶圆表面与电子束扫描仪电极板之间的电势差；选择扫描区域，在晶圆表面保持稳定电势状态下进行缺陷检测。本发明通过预扫描提升晶圆表面电势，降低晶圆表面与电极板之间的电势差，可缓解晶圆表面电荷大量聚集的效应，有效避免电弧放电的发生，并可顺利检测连接孔断路缺陷，从而为半导体在线制造与良率提升提供了有力保障。