机译:等离子体中低压电弧放电过程中离子束引力对气体渗氮和PA PVD-ARC工艺产生的双涂层附着力的影响
gas nitriding; PA PVD-Arc; ion etching; duplex layer; CrN; TiN;
机译:等离子体中低压电弧放电过程中离子束引力对气体渗氮和PA PVD-ARC工艺产生的双涂层附着力的影响
机译:等离子低压电弧放电中的离子刻蚀对气体氮化和PA-PVD-Arc工艺产生的双涂层粘附力的影响
机译:Cr,Ti电极在等离子体低压电弧放电中产生的离子引诱对双涂层附着力的影响
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机译:在放电产生的EUV等离子体源中通过反应离子蚀刻清洁锡屑。
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