探针板及使用探针片或探针板的半导体检测装置及半导体装置的制造方法

摘要

探针板及使用其的半导体装置的检测方法(制造方法)中所使用的探针片具有与窄间距形成的检测对象物的电极电接触的第一接触端子、从该第一接触端子引出的配线、与该配线电接触的第二接触端子，且第一和第二接触端子使用具有结晶性的部件的蚀刻孔来形成，并用金属片进行贴里。