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公开/公告号CN107078048B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-08-13
原文格式PDF
申请/专利权人 应用材料公司;
申请/专利号CN201580060603.3
发明设计人 R·巴贾杰;K·克里希南;M·C·奥里拉利;D·莱德菲尔德;F·C·雷德克;N·B·帕迪班德拉;G·E·蒙柯;J·G·方;R·E·帕里;R·E·达文波特;
申请日2015-04-24
分类号H01L21/304(20060101);
代理机构31100 上海专利商标事务所有限公司;
代理人侯颖媖
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 12:18:40
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