CMP 溝付きパッド内スラリー流れの数値解析

摘要

本研究は，CMP におけるパッド上に形成した溝パターン形状，断面形状の違いによるスラリー流れの解析を行い，スラリーフロー状態と研磨性能の関係を解明し，パッド溝パターン形状，断面形状の最適設計法の確立を目的とする．その第一段階として，溝無しパッドと同心円溝パッドによるスラリー流れの数値解析を行い，パッド溝による流れの影響の評価を行った．