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公开/公告号CN110730869B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-08-06
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社富士金;
申请/专利号CN201880037514.0
发明设计人 三浦尊;筱原努;中田知宏;稻田敏之;渡边一诚;近藤研太;佐藤秀信;汤原知子;
申请日2018-06-22
分类号F15B15/14(20060101);F16K31/122(20060101);H01L21/31(20060101);
代理机构11002 北京路浩知识产权代理有限公司;
代理人张晶;谢顺星
地址 日本大阪府
入库时间 2022-08-23 12:15:46
机译: 阀装置,流体控制装置,流体控制方法,半导体制造装置和半导体制造方法
机译:一种用于流体驱动致动器卫生控制的压缩阀
机译:矩形脉冲波控制同时控制磁粘液流体阀液压致动器速度和推力。
机译:基于形状记忆聚合物致动器的锁定微流体阀阵列
机译:采用模糊推理PI控制磁力粘液流体阀液压致动器的速度控制
机译:用于燃油计量阀的线性MEMS可变磁阻步进致动器。
机译:使用单压电晶片微致动器的比例微阀
机译:流体燃料供给系统。总结报告。