公开/公告号CN110735119B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-08-03
原文格式PDF
申请/专利权人 南京理工大学;
申请/专利号CN201910965497.3
申请日2019-10-12
分类号C23C14/35(20060101);C23C14/16(20060101);C23C14/18(20060101);C23C14/58(20060101);H01F41/18(20060101);H01F41/22(20060101);
代理机构32203 南京理工大学专利中心;
代理人邹伟红
地址 210094 江苏省南京市孝陵卫200号
入库时间 2022-08-23 12:14:33
机译: 一种磁控溅射制备铁电薄膜的方法及铁电薄膜
机译: 用射频磁控溅射法和薄膜太阳能电池用射频薄膜制备木质薄膜的方法
机译: 制备用于磁性和磁光记录的高矫顽力钇铁石榴石薄膜的改进方法。