利用直流磁控溅射方法制备高迁移率ZnO:H薄膜

摘要

要实现太阳电池的最大转换效率必须要满足三个要素:入射光必须尽可能多的被吸收;被吸收的光子必须尽可能多的转化成电子;被转化的电子必须尽可能多的被抽取到器件两端.对于太阳电池来说要满足这几个条件前电极就显得格外的重要.本文所研究的氢掺杂氧化锌透明导电氧化物薄膜正是基于以上考量,通过在室温下引入氢气作为掺杂源溅射生长ZOH,然后在氢气氛下退火,在维持电学性能不变的前提下降低载流子浓度提高迁移率,进而实现减少对近红外光的吸收(迁移率为49.8cm2/Vs,载流子浓度1.05×1020cm-3,且在400-1000nm波长范围内的平均透过率可80％以上),实现了有更多的光的透过进入电池的吸收层.