公开/公告号CN108682610B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-07-09
原文格式PDF
申请/专利权人 朗姆研究公司;
申请/专利号CN201810309554.8
申请日2016-03-02
分类号H01J37/32(20060101);
代理机构31263 上海胜康律师事务所;
代理人樊英如;陈丽
地址 美国加利福尼亚州
入库时间 2022-08-23 12:06:35
机译: 阻抗匹配电路,可与千赫兹RF发生器和兆赫兹RF发生器一起操作,以控制等离子体过程
机译: 阻抗匹配电路,可与千赫兹RF发生器和兆赫兹RF发生器一起操作,以控制等离子体过程
机译: 阻抗匹配电路,用于与KILOHERTZ RF发生器和MEGAHERTZ RF发生器一起控制等离子体过程