一种压电厚膜驱动的微变形镜及其制备方法

摘要

本发明属于微变形镜及其加工制备领域，具体涉及一种基于压电膜驱动的微变形镜及其制备方法。该微变形镜包括由致动单元组成的微致动器阵列和镜面，其微致动器阵列是中心对称的正六边形结构，由单晶硅膜片构成的镜面通过光敏高聚物凸台与上电极连接。其制备过程包括制备硅衬底压电陶瓷基膜、利用湿法刻蚀法刻蚀硅衬底压电陶瓷基膜、用湿法刻蚀方法刻蚀硅衬底压电陶瓷厚膜其形状、在硅衬底压电陶瓷厚膜阵列上制备上电极阵列、在上电极阵列的上表面制备连接凸台并利用光敏高聚物将镜面固定安装到致动器阵列上。本微变形镜能驱动镜面产生较大的位移量，从而满足天文观测和视网膜成像等领域的要求；本制备方法工艺简单、成本低，具有良好的商业应用前景。