大尺寸厚膜压电陶瓷驱动变形镜的制备工艺研究

摘要

研制了一种适合高频响应变形镜使用要求的压电陶瓷材料体系，并采用流延工艺成功制备了大尺寸厚膜（Ф90mm×0．30mm），并采用粘接固化工艺制备出Ф90mm口径的压电厚膜驱动连续变形镜。结果表明，压电陶瓷材料配方通式为Pb1-aMa[（Zn1-bL6）1／3Nb2（1-x）3]eZTfTigOh，e＋f＋g=1，M—Ca、Sr、Ba、La、K，L—Ni、Co、Fe，其机电耦合系数kp≥O．72，压电常数d33≥590pC／N，居里温度Tc≥300℃，介电损耗tanδ≤1．2％，介电常数ε33^T/ε0=2000-2500，烧成温度1150℃；扣除离焦前的压电厚膜驱动连续变形镜面形约3μm，扣除离焦后的面形约0．4μm；陶瓷厚膜的烧银过程变形致使镜面粘接工艺过程气泡难以消除，产生变形镜面-陶瓷间粘接不连续。