一种非旋转式薄膜厚度及折射率测量方法

摘要

本发明属于薄膜检测技术领域，公开了一种非旋转式薄膜厚度及折射率测量方法。本发明利用零级涡旋半波片将被样品反射的光波转化为矢量偏振光场，此矢量偏振光场被检偏器检偏后形成亮暗呈楔形分布的光强图像，采集光强图像并进行图像处理得到亮区方位角以及亮暗对比度，进一步计算出椭偏参数，利用椭偏参数即可反解出薄膜样品的厚度与折射率。该方法操作简单便捷、测量光路中无光学部件的旋转运动，光路稳定性好、测量精度高、速度快，且测量结果对光源的功率和波长变化不敏感。