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多晶氮化镓自立基板和使用该多晶氮化镓自立基板的发光元件

摘要

本发明提供一种多晶氮化镓自立基板,使用该基板制作发光元件或太阳能电池等器件时能得到高发光效率、高转换效率等优异特性。本发明的多晶氮化镓自立基板由在大致法线方向上沿特定结晶方位取向的多个氮化镓系单晶粒子构成,具有上表面和底面。所述上表面利用电子背散射衍射法(EBSD)的反极图成像测定的各氮化镓系单晶粒子的结晶方位按照相对于特定结晶方位以各种角度倾斜的方式分布,其平均倾斜角为0.1°以上且低于1°,并且在所述上表面露出的氮化镓系单晶粒子在最外表面的截面平均直径DT为10μm以上。

著录项

  • 公开/公告号CN108699727B

    专利类型发明专利

  • 公开/公告日2021-06-11

    原文格式PDF

  • 申请/专利权人 日本碍子株式会社;

    申请/专利号CN201780005781.5

  • 申请日2017-02-10

  • 分类号C30B29/38(20060101);H01L31/0392(20060101);H01L33/32(20060101);

  • 代理机构11432 北京旭知行专利代理事务所(普通合伙);

  • 代理人王轶;郑雪娜

  • 地址 日本国爱知县

  • 入库时间 2022-08-23 11:57:07

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