公开/公告号CN109089335B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-06-08
原文格式PDF
申请/专利权人 北京北方华创微电子装备有限公司;
申请/专利号CN201710448048.2
发明设计人 张芳;
申请日2017-06-14
分类号H05B1/02(20060101);H05B3/00(20060101);
代理机构31275 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙);
代理人陶金龙;张磊
地址 100176 北京市大兴区北京经济技术开发区文昌大道8号
入库时间 2022-08-23 11:55:57
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