平行光管悬挂扫描检测大口径光学系统的装置及方法

摘要

本发明公开了一种平行光管悬挂扫描检测大口径光学系统的装置及方法。该装置包括二维平移机构、悬式平行光管、待检光学系统、夏克‑哈特曼检测仪，所述悬式平行光管悬挂于可X、Y方向运动的二维平移机构上，所述悬式平行光管设置于待检光学系统的上方，并按照预定轨迹扫描待检光学系统的全口径，所述夏克‑哈特曼检测仪用于获取光斑质心位置。本发明采用悬式平行光管扫描来产生大范围精确向下的平行光束，解决了扫描检测精度受指向误差制约的问题，精度很高，满足对大型光学系统的检测要求；本发明利用悬挂的物体在重力场中稳定后，总是竖直向下的特点，采用普通的二维导轨平移机构，就能达到极高的精度，降低了制造成本。