一种6H-碳化硅二维单晶纳米片的制备方法

摘要

本发明公开了一种6H‑碳化硅单晶二维纳米片的制备方法，包括以下步骤：将经中子辐射的6H晶相的碳化硅纳米颗粒用HF和HCl配置好的混合酸超声酸洗；依次通过去离子水和无水乙醇洗涤，真空干燥；然后再将酸处理过的碳化硅纳米颗粒与氯化铵或掺杂源混合均匀后密封在石英管中；将装有样品的石英管在马弗炉中加热，加热完成后样品随炉自然冷却到室温后取出，再将样品先后依次经无水乙醇和去离子水超声清洗，真空干燥后即可；本发明碳化硅具有原料价格低、来源广，纳米尺度均匀，晶体质量好，单分散性好，产量大，制备合成过程简单、制备时间短，不需贵重设备，安全且易操作的特点，有利于实现大尺寸二维碳化硅材料的快速制备，且能实现同步掺杂和均匀掺杂。