一种高电流离子注入机量测指示装置的维修方法

摘要

一种高电流离子注入机，匹配于所述高电流离子注入机的反应腔室设置一量测指示装置，所述量测指示装置用于对所述反应腔室内的真空值进行量测，并在所述真空值超过预设阈值时告警；其特征在于，所述量测指示装置与所述反应腔室的量测接口之间具有一量测通道，并通过一设置于所述量测通道上的手阀控制所述量测通道的开闭。本发明通过提供一种高电流离子注入机量测指示装置的维修方法，节约了更换量测灯丝的时间，减少了空气中的水汽和微粒进入到腔室当中，保证了产品的质量，也更加的便捷、实用。