用于高压的具有薄膜的微机电换能器、其制造方法和包括微机电换能器的系统

摘要

微机电换能器包括半导体主体、埋置在半导体主体内的四个腔、和四个膜，每个膜悬置于相应的腔之上，并且能够通过微机电换能器外部的压力的作用而被偏斜；微机电换能器进一步包括四个换能器元件，四个换能器元件由相应的膜容纳，并且在惠斯通电桥配置中互相电耦合，以将所述外部压力转换为电信号。