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【2h】

Diseño y fabricación de sistemas micro/nano electromecánicos integrados monolíticamente para aplicaciones de sensores de masa y sensores biológicos con palancas como elementos transductores

机译：设计和制造用于质量传感器和生物传感器的单片集成微/纳米机电系统，以杠杆作为换能器元件

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Villarroya Gaudó María;
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年度 2006
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