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公开/公告号CN109804730B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-05-18
原文格式PDF
申请/专利权人 株式会社高迎科技;
申请/专利号CN201780060951.X
发明设计人 郑升源;崔钟镇;
申请日2017-09-22
分类号H05K13/08(20060101);G01B11/24(20060101);
代理机构11384 北京青松知识产权代理事务所(特殊普通合伙);
代理人郑青松
地址 韩国首尔市
入库时间 2022-08-23 11:49:10
机译: 基板检查装置以及使用该基板检查装置补偿基板变形的方法
机译: 使用相同的基板检查装置和基板变形补偿方法
机译:进化了掩模基板检查技术的大型光掩模基板缺陷检查装置
机译:利用AI进行系统构建开发太阳工业株式会社的最终基板外观检查装置
机译:存在缺陷统计分析和存储/利用功能,并且还可以辅助过程改进和设计改进:基板是检查装置。
机译:塑料基板上金属纳米纸阵阵列规则的高效制造方法(超细切割方法对石英玻璃基板的细槽加工方法的检查)
机译:两个流场的结构和动力学,用于粒子沉积到基板上和从基板上去除。
机译:利用简化横向架构的吸收纸基板上的全固体有机电致变色装置的制造
机译:使用压电基装置研究薄膜应变效应的新方法和柔性金属基板
机译:减少涡轮发动机喷嘴基板应力的方法和装置。