公开/公告号CN110948380B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-05-18
原文格式PDF
申请/专利权人 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所;
申请/专利号CN201911279314.9
申请日2019-12-13
分类号B24B37/10(20120101);B24B41/00(20060101);B24B41/04(20060101);B24B47/12(20060101);
代理机构44316 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙);
代理人曹卫良
地址 130033 吉林省长春市经济技术开发区东南湖大路3888号
入库时间 2022-08-23 11:48:47
机译: 基板背面研磨部件的修整装置及修整方法
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