一种平面光学元件行星式研磨装置及研磨方法

摘要

本发明公开了一种平面光学元件行星式研磨装置及研磨方法，通过将工件盘的下端面与研磨台上端面平行设置，研磨台和工件盘能够相互不同轴转动，在工件盘上开设有多个夹具定位孔，多个夹具定位孔以工件盘驱动轴的轴线为中心圆周阵列，通过夹具夹持待加工光学元件，利用工件盘限位后使待加工光学元件的待研磨端面与研磨上端面接触，最后通过施压装置调整待加工光学元件与研磨台之间的压力，确保待加工光学元件与研磨台之间的接触稳定性，本装置结构简单，通过研磨盘和工件盘以行星式的运动方式相互转动，大大提高了平面光学元件的研磨速度，在研磨过程中通过施压装置实时保持同样的压力，保证了工件加工的平整度，提高了整个加工工艺的加工效率。