一种UV预处理衬底改善打印氧化物薄膜形貌的方法

摘要

本发明属于显示器件技术领域，公开了一种UV预处理衬底改善打印氧化物薄膜形貌的方法。所述方法为：将ZrOCl₂·8H₂O溶于溶剂中，得到前驱体溶液；在无碱玻璃表面沉积一层ITO，然后经清洗、烘干后采用波长为220‑250nm的紫外光照射30～50s，得到UV预处理后的ITO玻璃衬底；以前驱体溶液在UV预处理后的ITO玻璃衬底上喷墨打印制备薄膜，然后将所得薄膜烘干后退火处理，得到氧化锆薄膜。本发明以特定体系的氧化物前驱体溶液通过喷墨打印法制备氧化物绝缘层薄膜，并通过对ITO玻璃衬底进行UV预处理，解决了打印薄膜不连续、不均匀的问题，实现了表面平整且低漏电的溶液法绝缘层制备。