使用非轴对称束斑对透明工件进行激光加工的设备和方法

摘要

一种用于对透明工件进行激光加工的方法包括：形成包含缺陷的轮廓线，这通过下述进行：引导由光束源输出的脉冲激光束通过非球面光学元件，所述非球面光学元件在径向方向上偏离光束路径定位，以及将脉冲激光束引导到透明工件中，使得被引导到透明工件中的脉冲激光束的部分在透明工件中产生诱导吸收，该诱导吸收在透明工件中产生缺陷。被引导到透明工件中的脉冲激光束的部分包括波长λ、有效光斑尺寸W_o,有效，以及非轴对称光束截面，其具有在x方向上的最小瑞利范围Z_Rx,最小，以及在y方向上的最小瑞利范围Z_Ry,最小。此外，Z_Rx,最小与Z_Ry,最小中的较小者大于式(I)，其中F_D是包含10或更大数值的无量纲的发散系数。