基于氧化锡/氧化镓异质结纳米阵列的柔性气敏传感器及其制备方法

摘要

本发明涉及一种基于氧化锡/氧化镓异质结纳米阵列的柔性气敏传感器及其制备方法，括Ti/Au电极，柔性玻璃纤维布衬底，位于柔性玻璃纤维布衬底上的SnO₂薄膜和位于SnO₂薄膜上方的β‑Ga₂O₃纳米柱阵列；SnO₂薄膜位于β‑Ga₂O₃纳米柱阵列和柔性玻璃纤维布衬底，SnO₂薄膜与β‑Ga₂O₃纳米柱阵列之间接触面形成异质结；所述Ti/Au电极包括两个，其中一个位于SnO₂薄膜上方，另一个位于β‑Ga₂O₃纳米柱阵列上方。本发明的气敏传感器件，具有三维空间异质结界面结构，气敏特性稳定，柔性可弯曲，工作温度和功耗低，可用于柔性可穿戴VOC气体检测，在室内甲醛气体、糖尿病患者丙酮含量以及酒驾的检测等领域具有很大的应用前景。