公开/公告号CN110983434B
专利类型发明专利
公开/公告日2021-04-16
原文格式PDF
申请/专利号CN201911380301.0
申请日2019-12-27
分类号C30B23/00(20060101);C30B29/36(20060101);
代理机构11227 北京集佳知识产权代理有限公司;
代理人豆贝贝
地址 102600 北京市大兴区中关村科技园区大兴生物医药产业基地天荣大街9号2幢301室
入库时间 2022-08-23 11:39:25
机译: 用于碳化硅单晶生长籽晶的碳化硅单晶生长籽晶的制造方法,碳化硅单晶的制造方法以及碳化硅单晶
机译: 碳化硅单晶生长的坩埚,使用碳化硅单晶制造碳化硅单晶的方法以及碳化硅单晶锭
机译: 用于生长碳化硅单晶的种子晶体,碳化硅单晶锭,碳化硅单晶硅片以及制备碳化硅单晶的方法