线宽测量系统和线宽测量装置

摘要

本发明公开了一种测量系统，包括线宽测量单元、焦面检测及轮廓测量单元、离焦粗测单元和标记搜索定位单元。所述测量系统可以实现CD测量、标记搜索定位、剖面轮廓测量与焦面检测。本发明还公开了一种线宽测量系统，包括线宽测量单元与焦面检测及轮廓测量单元、离焦粗测单元和标记搜索定位单元中至少一个。本发明还公开了一种线宽测量装置。本发明还公开了一种线宽测量方法。