一种线宽测量方法和线宽测量系统

摘要

本申请公开了一种线宽测量方法和线宽测量系统，所述线宽测量方法包括以下步骤：获取待测产品的工艺类型；根据所述待测产品的工艺类型对所述线宽测量机进行机差调整；采用机差调整后的线宽测量机对所述待测产品进行线宽测量。线宽测量机对不同工艺类型的待测产品进行线宽测量前都进行了相应的机差调整，及时消除机差对测量结果的影响，保证了不同工艺类型的待测产品的产险判断，提高了不同工艺类型的待测产品的品质。