一种热丝CVD纳米金刚石涂层的自动控制方法

摘要

本发明公开了一种热丝CVD纳米金刚石涂层的自动控制方法，金刚石涂层设备先实时检测热丝的温度T1是否大于温度控制点T2，当热丝温度T1大于温度控制点T时，则根据此时热丝温度T1确定反应气体的流量G1，同时根据气体流量G1设定气体输送组件输出口的气体流量，并根据当前热丝温度T1和气体流量G1确定模具内孔形核阶段的加热时间M1以及生长阶段的加热时间M2。本发明可以根据热丝的温度自动调整反应气体的气体流量、纳米金刚石涂层的形核阶段的加热时间以及生长阶段的加热时间，可以有效地提高模具内孔的纳米金刚石涂层的生长效率，同时可使模具内孔的纳米金刚石涂层更加均匀，可避免喷过多的气体造成浪费或过少的气体影响纳米金刚石涂层的效果。