微纳米尺寸图形化薄膜阵列的介电测试系统及方法

摘要

本发明涉及一种用于微纳米尺寸图形化薄膜阵列的介电测试系统，包括：用于测试介电性能的测试单元；绝缘的样品台，样品台上设有第一样品台电极和第二样品台电极；第一样品台电极和第二样品台电极分别与测试单元电连接；相对平行的第一电极和第二电极；第一电极与第一样品台电极电连接，第二电极与第二样品台电极电连接；第一电极和第二电极之间用于夹设微纳米尺寸图形化薄膜阵列；绝缘的测试夹具，其位于样品台上，测试夹具开设有用于放置第一电极、第二电极和微纳米尺寸图形化薄膜阵列的样品槽，测试夹具可拆卸连接有绝缘的紧固单元，紧固单元的一端位于样品槽内且用于对第一电极加压。