多功能型基板检查装置以及多功能型基板检查方法

摘要

本发明提供能够使探头选择性地进行接触的多功能型基板检查装置。具备：植入设置有能够按照基板30的表面10、20不同而接触的不同长度的探头111～217的第一、第二探头基台100、200；使它们的间隔接近或者远离的驱动单元50；能够在它们之间载置基板30的中间板300；植入设置于第一探头基台100，能够通过基于驱动单元50的驱动力F经由第一作用单元61的作用力F1来按压基板30的伸缩自如的第一柱60或与其同等的伸缩性支撑机构60；使基板30从中间板300远离的第二作用单元42；以及使中间板300从第二探头基台200远离的第三作用单元43，使探头111～217与长度的差异对应地选择性地与基板30接触。